根据国家安全监管总局《职业卫生技术服务机构工作规范》的要求,现将《中芯先锋集成电路制造(绍兴)有限公司中芯绍兴三期12英寸特色工艺晶圆制造中试线项目职业病危害预评价报告》相关信息公示如下:
一、建设单位(用人单位)名称、地理位置及联系人
建设单位(用人单位):中芯先锋集成电路制造(绍兴)有限公司
地理位置:绍兴市越城区皋埠街道临江路508号
联系人:朱文杰
二、项目名称及简介
建设项目名称:中芯绍兴三期12英寸特色工艺晶圆制造中试线项目
建设项目内容:本次评价范围主要以中芯先锋集成电路制造(绍兴)有限公司中芯绍兴三期12英寸特色工艺晶圆制造中试线项目确定的建设内容为准。拟建项目将租赁中芯越州公司现有生产厂房闲置区域,利用中芯越州公辅工程及配套环保工程,同时新增部分公辅及环保工程,建设一条12英寸特色工艺晶圆制造中试线,形成12英寸晶圆1万片/月的中试规模。
三、 现场调查、采样、检测的专业技术人员名单、时间,建设单位(用人单位)陪同人
人员分工 | 姓名 | 职称 |
建设单位陪同人 | 朱文杰 | ESH部经理 |
现场调查人员、时间 | 倪建波 2022.12.10 | |
采样、检测人员、时间 | / |
四、建设项目(用人单位)存在的职业病危害因素及检测结果
拟建项目建成投产后正常生产过程中存在或可能产生的职业病危害因素有:
(1)化学有害因素:钴及其氧化物、镍及其化合物、铬及其化合物、铜及其化合物、锑及其化合物、铟及其化合物、乙酸丁酯、酚醛树脂、乙二醇、异丙醇、丙酮、氯化氢及盐酸、氮氧化物、磷酸、硫酸、氟化氢、乙酸、过氧化氢、氢氧化钾、甲醛、二氯乙烯、氨、磷化氢、砷化氢、一氧化碳、二氧化碳、氯、六氟化硫、硫化氢;
(2)物理因素:高频电磁场、激光辐射、紫外辐射、工频电场、噪声、高温。
(3)放射性因素:电离辐射(X射线)。
五、评价结论与建议
结论:
根据《中华人民共和国职业病防治法》、《建设项目职业病防护设施“三同时”监督管理办法》等有关法律、法规和规范的规定,对拟建项目进行了职业病危害预评价,得出以下结论:
(1)拟建项目建成投产后正常生产过程中可能存在或产生的主要职业病危害因素如下:
化学有害因素:钴及其氧化物、镍及其化合物、铬及其化合物、铜及其化合物、锑及其化合物、铟及其化合物、乙酸丁酯、酚醛树脂、乙二醇、异丙醇、丙酮、氯化氢及盐酸、氮氧化物、磷酸、硫酸、氟化氢、乙酸、过氧化氢、氢氧化钾、甲醛、二氯乙烯、氨、磷化氢、砷化氢、一氧化碳、二氧化碳、氯、六氟化硫、硫化氢;
物理因素:高频电磁场、激光辐射、紫外辐射、工频电场、噪声、高温。
放射性因素:电离辐射(X射线)。
(2)拟建项目拟设置的职业病防护设施、应急救援设施及拟配备的个体防护用品符合国家职业卫生标准要求。
(3)拟建项目总体布局、生产工艺及设备布局基本符合国家职业卫生标准要求。
(4)拟建项目建筑卫生学、辅助用室、职业卫生管理基本符合国家职业卫生标准要求。
拟建项目在类比项目的基础上,增加和补充职业病危害防护措施、职业病危害管理措施和职业病危害事故应急救援措施,为操作人员配备相应的个体防护用品,并对新员工进行上岗前的职业健康检查,加强职业健康监护,及时发现和预防职业病或职业禁忌证的发生。
综上所述,拟建项目基本执行了我国职业病危害预防、控制的有关规定。拟建项目在今后的工程设计和工程建设中,将拟设置的职业病防护设施和本评价报告中提出的补充措施建议予以落实,预计项目建成后,拟建项目中存在的职业病危害能够得到有效预防和控制,可以满足国家和地方对职业病防治方面的法律、法规、标准及规范的要求。
建议:
(1)拟建项目拟设置的废气排风系统应采取下列措施,确保其工作的可靠性:
①排风系统应有备用排风机。
②排风机应设有备用电源。
③排风管道应根据排放介质的危害特征选用材质;排放管道上应设观察口、检修口、清扫口并保持畅通;排风管道上不宜设防火阀。
④易燃易爆场所尘、毒排风系统应采用防爆、隔爆设备。
(2)在生产过程中可能突然逸出大量有害气体或易造成急性中毒气体的作业场所或仓库,应设置事故通风装置及与其连锁的自动报警装置。其通风换气次数应不小于每小时12次。
六、技术审查专家组评审意见
根据《中华人民共和国职业病防治法》、《建设项目职业病防护设施“三同时”监督管理办法》、《浙江省建设项目职业病防护设施“三同时”监督管理实施细则》等规定,2023年1月12日,中芯先锋集成电路制造(绍兴)有限公司组织了职业卫生专家和本单位有关人员,对《中芯先锋集成电路制造(绍兴)有限公司中芯绍兴三期12英寸特色工艺晶圆制造中试线项目职业病危害预评价报告(评审稿)》(编号:XD/ZP2022146)(以下简称《预评价报告》)进行评审。会议由建设单位ESH部经理朱文杰主持。评审组听取了建设单位对该项目工程概况和评价单位对《预评价报告》的汇报,审阅了评价报告,经讨论形成如下评审意见:
一、 总体意见
1、评价机构资质和能力符合;
2、《预评价报告》符合相关法律、法规和技术标准的要求;
3、《预评价报告》对建设项目可能产生的职业病危害因素识别较全,对工作场所职业病危害对劳动者健康影响与危害程度进行了分析与评价;
4、《预评价报告》对建设项目拟采取的职业病防护设施和防护措施进行了分析、评价,对存在的问题提出了对策措施;
5、《预评价报告》对可能产生职业病危害因素的工作场所、工艺设备物料等描述较完整、准确;
6、《预评价报告》对拟设置的职业病防护设施和个体防护用品的分析与建议较合理,基本可行;
7、《预评价报告》对拟设置的职业卫生管理机构设置和职业卫生管理人员配置及有关制度建设的评价和建议基本符合要求;
8、建设项目职业病危害类型判定准确,评价结论正确。
二、修改意见
1、细化清洗液配制、更换过程与拟采取职业病防护措施的描述与分析;
2、完善芯片生产厂房通风设施与生产设备局部通风设施的描述与分析;
3、细化洁净车间通风系统的描述与分析;
4、按岗位列出个人防护用品配置要求;
5、完善应急救援措施的描述与分析,特别是补充受限空间职业病防护措施的描述与分析。
三、评审结论
专家组同意修改后通过该《预评价报告》,技术服务机构应根据专家组提出的上述修改意见进行修改,修改后的《预评价报告》经专家组组长签名认可。