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长电集成电路(绍兴)有限公司 2.5D、3D先进封装生产线项目

安全验收评价报告

网站编辑:浙江兴达安全科技有限公司 │ 发布时间:2025-07-30
项目名称 长电集成电路(绍兴)有限公司 2.5D、3D先进封装生产线项目
项目编号 XD/AQSS20240182-3 评价报告提交时间 2025年07月30日
项目简介

长电集成电路(绍兴)有限公司成立于20191125日,位于浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路500号,企业类型为有限责任公司(中外合资),法定代表人:郑芳,注册资本伍拾亿元,统一社会信用代码:91330602MA2D7GYF3X,经营范围:半导体集成电路和系统集成产品的生产制造、测试和销售;半导体集成电路和系统集成产品的技术开发、技术转让、技术服务

2020年04月20日,长电集成电路(绍兴)有限公司取得了由绍兴市绍兴滨海新区核发的《浙江省外商投资项目备案(赋码)信息表》,项目名称:长电集成电路(绍兴)有限公司300mm集成电路中道先进封装生产线项目,项目代码:2020-330691-39-03-119956。项目性质为新建,产品针对eWLB、A-eWLB产品封装,采用先进的封装工艺,达产后年封装300mm芯片48万片。根据企业生产需求,项目分两阶段:第一阶段为年封装300mm芯片12万片,第二阶段为年封装300mm芯片36万片,其中第一阶段已于2023年11月进行了验收。

2024年0329日,长电集成电路(绍兴)有限公司取得了由绍兴市越城区经济和信息化局核发的浙江省外商投资项目备案(赋码)信息表,项目名称为:长电集成电路(绍兴)有限公司2.5D、3D先进封装生产线项目,项目代码为:2403-330602-07-02-450950,项目性质为改建项目,借助当前生产线,通过购买PECVD进口设备,购置键合设备、解键合设备等国产设备,在现有厂房(生产厂房一)内建成2.5D、3D先进封装生产线第一阶段基础上,本项目通过技改,增加生产效率,优化产品质量,项目(即2.5D、3D先进封装生产线项目)属于300mm集成电路中道先进封装生产线项目子项目,是对已经验收的第一阶段(年封装300mm芯片6万片)中的年封装300mm芯片1.2万片的生产线的技改,技改完成后总体产能保存不变

该项目在生产过程中涉及的物料[压缩的]、氧[压缩的]、六氟化硫、八氟环丁烷、三氟化氮、四氟化碳、二氟甲烷、氮[压缩的或液化的]、氦[压缩的]、硅烷、氨气、一氧化二氮、硅酸四乙酯、研磨剂TSV-Z4U、研磨剂AEP S7700、过氧化氢、柠檬酸试剂EPS1050、黏合剂TZNR A4017 10000cP、稀释液TZNR HC THINNERLaser Release Material WLP LB220、临时键合材料清洗剂、稀释液TZNR HC THINNER、乙醇、甲酸、氨水、氢氧化钠、电镀添加剂、增粘剂、铜蚀刻液、异丙醇、正胶显影液、助焊剂、皂化剂、氰化亚金钾、二氧化碳(压缩的)、硫酸、天然气、柴油、丙酮、发烟硝酸、双氧水、硝酸钾、γ-丁内酯、酸液、电子氟化液(冷却液)

根据《危险化学品目录》(原国家安监总局等10部门公告2015年第5号,应急管理部等10部门公告2022年第8号)该项目使用的[压缩的]、氧[压缩的]、六氟化硫、八氟环丁烷、三氟化氮、四氟化碳、二氟甲烷、氮[压缩的或液化的]、氦[压缩的]、硅烷、氨气、一氧化二氮、硅酸四乙酯、过氧化氢、乙醇、甲酸、氨水、氢氧化钠、铜蚀刻液(<10%双氧水)、异丙醇、助焊剂、氰化亚金钾、硫酸、天然气、柴油、丙酮、发烟硝酸、硝酸钾、酸液、二氧化碳[压缩的]、黏合剂TZNR A4017 10000c、稀释液TZNR HC THINNER、临时键合材料清洗剂γ-丁内酯属于危险化学品。

根据《国民经济行业分类》(GB/T4754-2017,按第1号修改单修订该项目所属行业C3973集成电路制造业 项目生产的产品不属于危险化学品,项目生产过程中使用危险化学品,根据《危险化学品安全使用许可适用行业目录(2013年版)》(安监总局公告2013年第3号),该项目不属于危险化学品安全使用许可适用行业,故不需要取得危险化学品安全使用许可证。

本次验收范围为长电集成电路(绍兴)有限公司2.5D3D先进封装生产线项目,借助当前生产线,通过购买PECVD进口设备,购置键合设备、解键合设备等国产设备,增加生产效率,优化产品质量,此外优化厂房部分区域和材料库布局,具体涉及建筑包括生产厂房一、氮气站、材料库以及与之配套的水、电、气等公用辅助设施,具体内容如下:


1 本项目主要建设内容

序号

项目组成

主要工程内容或用途

1

生产厂房

生产厂房一位于厂区中部,为局部3层建筑,厂房内现已建成年产12万片300mm芯片封装,本次新增PECVD进口设备,购置键合设备、解键合设备等国产设备,建成后新增1.22.5D3D先进封装技术产品生产的能力。

1F:利用原有惰性气体间、可燃气体间、毒性气体间为本项目配套输送特气,本次新增各类气瓶种类和数量,东侧(下夹层)新增二氟甲烷供气系统TEOS供应系统,MD车间新增一台解键合设备。

2F:在现有的溅射区新增PECVD设备1台、干法蚀刻设备1台、CMP设备台光刻区新增临时键合设备1台。

2

氮气站

氮气站位于厂区东部,在现有氮气储罐的东侧(生产厂房一南侧)新增一套空压制氮设施

3

材料库

材料库位于厂区东南侧,利用材料库内的有机溶剂间存放本项目使用的有机溶剂,将原有双氧水储存间通过设置防火墙和空调机房进行分隔,改造为气瓶库,将惰性气瓶间改造为双氧水间,原有剧毒品间改为易制爆危险化学品库,丙酮库改造为危废库。以上在20253月份由陕西天创工程设计有限公司进行了设计变更

该项目于202411月由浙江兴达安全科技有限公司编制了安全预评价报告,于20253月由陕西天创工程设计有限公司编制了安全设施设计专篇。该项目为改建项目,由设备厂家完成设备安装和调试,目前已完成试生产阶段。

根据《中华人民共和国安全生产法》(中华人民共和国主席令第70号,88号令修改)、《建设项目安全设施三同时监督管理办法》(安监总局令第36号,第77号修正)、《浙江省冶金等工贸行业建设项目安全设施三同时监督管理暂行规定》(浙安监管综〔201745号)等规定,该项目在试生产期间,建设单位应当委托具有相应资质的安全评价机构对安全设施进行验收评价,并编制安全验收评价报告。长电集成电路(绍兴)有限公司委托,浙江兴达安全科技有限公司承担了该项目的安全验收评价。

浙江兴达安全科技有限公司在接受委托后,成立了评价组,评价组成员在对该项目工程技术资料进行分析、研究的基础上,通过对该项目进行现场踏勘,对存在的安全隐患提出整改意见,结合相关资料分析,按照国家有关法律、法规及标准规定,按照《安全评价通则》(AQ8001-2007)和《安全验收评价导则》(AQ8003-2007)的要求,经过定性、定量分析,编制完成了本评价报告。


安全评价项目组长 冯功源 技术负责人 张志敏
过程控制负责人 朱晓丽 评价报告编制人 冯功源
报告审核人 赵季飞 参与评价工作的安全评价师 冯功源 赵季飞 朱晓丽 张志敏
参与评价工作的注册安全工程师 胡谨 李峰 丁传思 张征 参与评价工作的技术专家
现场开展安全评价工作人员 冯功源 李峰 现场开展安全评价工作时间 2025.4.3 2025.6.6
现场开展安全评价工作主要任务

2025.4.3--冯功源(现场踏勘)、李峰(资料收集)

2025.6.6--冯功源--再次现场踏勘

现场勘验图像影像资料

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其他有必要公开的内容

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