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中芯集成电路制造(绍兴)有限公司中芯绍兴MEMS和功率器件芯片制造及封装测试生产基地项目职业病危害控制效果评价

 根据国家安全监管总局《职业卫生技术服务机构工作规范》的要求,现将《中芯集成电路制造(绍兴)有限公司中芯绍兴MEMS和功率器件芯片制造及封装测试生产基地项目职业病危害控制效果评价报告》相关信息公示如下:

一、建设单位(用人单位)名称、地理位置及联系人

建设单位(用人单位):中芯集成电路制造(绍兴)有限公司

地理位置:绍兴市越城区银城路以东、临江路以南、银桥路以西地块

联系人:赵奇

二、项目名称及简介

建设项目名称:中芯绍兴MEMS和功率器件芯片制造及封装测试生产基地项目

建设项目内容:本次评价范围主要以中芯集成电路制造(绍兴)有限公司中芯绍兴MEMS和功率器件芯片制造及封装测试生产基地项目确定的建设内容为准。主要包括芯片生产厂房(FAB)、模组生产厂房(AT)、生产调度及研发厂房(PMD)、动力厂房(CUB)、化学品库(CW)、危险品库(HPM)、甲类库(AW)、硅烷站(SiH4)、大宗气站(GY)、氢气站(J1)、燃气调压站(N1)、废水处理站(AMT)、110KV变电站(S1)、储油罐(Y1)及职工宿舍(DE1、DE2、DE3)。

三、 现场调查、采样、检测的专业技术人员名单、时间,建设单位(用人单位)陪同人

人员分工

姓名

职称

建设单位陪同人

赵奇

主任

现场调查人员、时间

倪建波、金嘉敏  2020.5.6

采样、检测人员、时间

陈恩光、陶德明  2020.5.7

四、建设项目(用人单位)存在的职业病危害因素及检测结果

根据本项目的工艺特点,结合《职业病危害因素分类目录》以及相应的检测方法标准等法规、标准的有关规定,确定检测项目共10项,分别为:化学物质物理因素:噪声、紫外辐射以及高频电磁场

根据检测结果:

涉及化学物质危害的岗位和化学物质的种类较多,由本次检测结果可知,各化学物质浓度符合《工作场所有害因素职业接触限值 1部分:化学有害因素》(GBZ2.1-2019)的要求。

芯片生产厂房和模组生产厂房噪声危害较小,动力厂房水课各岗位瞬时噪声强度较大,若长时间不采取适当的听力保护措施,可引起听力损伤,甚至噪声性耳聋。各岗位噪声40h等效声级符合《工作场所有害因素职业接触限值第2部分 物理因素》(GBZ 2.2-2007)的要求。

及紫外辐射危害的岗位主要为芯片生产厂房光刻工序,由本次检测结果可知,紫外辐射强度符合《工作场所有害因素职业接触限值第2部分 物理因素》(GBZ 2.2-2007)的要求

涉及高频电磁场危害的岗位主要为芯片生产厂房离子注入工序,由本次检测结果可知,高频电磁场强度符合《工作场所有害因素职业接触限值第2部分 物理因素》(GBZ 2.2-2007)的要求。

五、评价结论与建议

结论:

通过分析建设单位提供的相关资料,再经过现场调查、采样和检测,以及实验室的检测分析,结合国家有关的职业卫生法规、规范和标准,得出以下结论:

1)本项目正常生产过程中存在的主要职业病危害因素包括:钴及其化合物、铬及其化合物、铜烟、钼及其化合物、镍及其化合物、二氧化锡、三氟化氯、二氯乙烯、过硫酸钠、过氧化氢、氨、异丙醇、丙酮、乙酸乙酯、乙酸丁酯、乙酸、甲醇、甲酸、环戊酮、二氧化氮、氮氧化物、氯、臭氧、一氧化碳、二氧化碳、三氯化硼、砷化氢、磷化氢、溴化氢、硫化氢、硫酸、磷酸、六氟化硫、氟化氢、氯化氢及盐酸、环氧树脂、高频电磁场、激光辐射、紫外辐射、工频电场、噪声、高温、电离辐射(X射线)。

2)根据《国民经济行业分类》(GB/T4754-2017),本项目行业分类为C-3973,集成电路制造。再根据《建设项目职业病危害风险分类管理目录(2012年版)》(安监总安健〔2012〕73号)的规定,并结合使用的原材料、生产工艺和产品等可能产生的职业病危害风险程度,本项目定性为“职业病危害较重”的建设项目。

3)本项目总体布局、生产工艺和设备布局、建筑卫生学、辅助用室等符合《工业企业设计卫生标准》(GBZ1-2010)、《生产过程安全卫生要求总则》(GB/T12801-2008)、《电子工业防尘防毒技术规范》(WS701-2008)等标准的要求。

4)本项目针对生产过程中产生的各种职业病危害因素,采取了防尘防毒、防噪减振、防暑降温、防辐射等防护措施,较好地控制了工作场所中职业病危害因素的浓度和强度。职业病防护设施设置符合《工业企业设计卫生标准》(GBZ1-2010)、《电子工业防尘防毒技术规范》(WS701-2008)等标准的要求。

5)本项目职业卫生管理基本符合《职业病防治法》(主席令第24号)、《工作场所职业卫生监督管理规定》(原安监总局令第47号)、《职业卫生档案管理规范的规定》(安监总厅安健〔2013〕171号)等法律、法规的规定。

6)本项目正常生产过程中,在各工程防护设施正常运行及个体防护措施到位的情况下,作业人员接触的各职业病危害因素浓度和强度能符合职业接触限值的要求。

7)本项目应急救援设施的设置、个体防护用品的配备及职工职业健康监护工作符合相关要求。

本项目已采取了一定的职业病防护措施,针对不同的作业岗位配备了较齐全的个人防护用品,以降低工人实际接触的有害物质浓(强)度,且各项职业病防治管理措施能有效运行。因此,本项目在正常生产过程中,在采纳本评价报告所提出对策措施和建议的情况下,能符合国家和地方对职业病防治方面法律、法规、标准的要求,具备了职业病防护设施竣工验收的条件。

建议:

1)本项目维修如采用外委,应委托具备职业病防护条件的单位,制定切实可行的维修方案;对在开停设备过程、检维修过程中存在的职业病危害因素进行识别,并采取相应的防护措施;

2)装置检修之前,对参加装置检修人员首先应进行培训,让作业人员了解现场职业病危害因素的预防措施,能够正确使用个人防护用品和应急救援设施,然后才能进行检修作业;

3)设备、容器、管道应进行彻底的吹扫、置换,使内部不含有残渣、残液及余气,取样分析结果合格后检修人员需携带便携式报警器进行检修作业,设备管线吹扫和排放的物料要密闭回收;

4)设置密闭空间警示标识,防止未经准入人员进入;

5)在进入密闭空间作业期间,至少要安排一名监护者在密闭空间外持续进行监护;

6)在检修时,必须认真组织、加强管理,做好全过程、全天候、全方位的监督、检测和监护。检修前必须全面做好职业病危害识别,制定切实可行的预防、控制和应急措施;对全体员工进行职业卫生职业病防治知识培训、自救互救及应急预案的演练;

7)在设备维护、检修过程中,须做到有专人监护,并设置警示标识,特别是进入密闭空间作业时,应保持良好的通风状态,设置临时性机械通风设施,并佩戴好个人防护用品,并严格遵守《密闭空间作业职业危害防护规范》(GBZ/T205-2007)的规定及应急预案的要求,防止职业中毒事故发生。

六、技术审查专家组评审意见

根据《职业病防治法》、《建设项目职业病防护设施“三同时”监督管理办法》、《浙江省建设项目职业病防护设施“三同时”监督管理实施细则》等规定,2020年6月28日,中芯集成电路制造(绍兴)有限公司组织了职业卫生专家和本单位有关人员,对《中芯集成电路制造(绍兴)有限公司

中芯绍兴MEMS和功率器件芯片制造及封装测试生产基地项目(评审稿)》(编号:XD/ZP2020028-1)(以下简称《控评报告》)进行评审。会议由建设单位ESH部经理朱文杰主持。评审组听取了建设单位对该项目工程概况和评价单位对《控评报告》的汇报,审阅了评价报告,经讨论形成如下评审意见:

一、总体意见

1、评价机构资质和能力符合;

2、《控评报告》符合相关法律、法规和技术标准的要求;

3、《控评报告》对建设项目可能产生的职业病危害因素识别较全,对工作场所职业病危害对劳动者健康影响与危害程度进行了分析与评价;

4、《控评报告》对建设项目采取的职业病防护设施和防护措施进行了分析、评价,对存在的问题提出了对策措施;

5、《控评报告》对可能产生职业病危害因素的工作场所、工艺设备物料等描述较完整、准确;

6、《控评报告》对设置的职业病防护设施和个体防护用品的分析与建议较合理,基本可行;

7、《控评报告》对设置的职业卫生管理机构设置和职业卫生管理人员配置及有关制度建设的评价和建议基本符合要求;

8、建设项目职业病危害类型判定准确,评价结论正确。

二、修改意见

1、细化应急救援设施、个人防护用品配置情况的分析与评价;

2、细化废水处理、固废处置职业病防护措施的分析与评价;

3、完善关键控制点的描述与分析。

三、评审结论

专家组同意修改后通过该《控评报告》,技术服务机构应根据专家组提出的上述修改意见进行修改,修改后的《控评报告》经专家组组长签名认可。



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